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產品中心
產品詳情
  • 產品名稱:SAMCO ICP蝕刻裝置 RIE-400iPC

  • 產品型號:
  • 產品廠商:SAMCO薩姆肯
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簡單介紹:
高密度等離子蝕刻裝置,采用電感耦合等離子體(工業塑料廣場)作為放電形式。 該裝置是一種全 面生產設備,具有真空盒室,具有優異的工藝可重復性和穩定性。 它成為直徑為 ±4 英寸的晶圓專用設備,可以安裝在節省空間的地方。
詳情介紹:

概述

高密度等離子蝕刻裝置,采用電感耦合等離子體(工業塑料廣場)作為放電形式。 該裝置是一種全 面生產設備,具有真空盒室,具有優異的工藝可重復性和穩定性。 它成為直徑為 ±4 英寸的晶圓專用設備,可以安裝在節省空間的地方。

特點

新型ICP源「HSTC?: Hyper Symmetrical Tornado Coil

射頻功率(2 kW 或更高)可高效、穩定地應用,以實現良好的均勻性。

大流量排氣系統

通過采用與反應室直接相連的排氣系統,實現了從小流量、低壓區域到大流量、高壓范圍的各種工藝窗口。

支持端點監視器

它支持干涉型和發光光譜端點監視器,可在目標薄膜厚度下進行端點檢測。

易于維護的設計

TMP(渦輪分子泵)和高頻電源單元化,便于更換。

應用示例

? 高精度加工化合物半導體,如 GaN、GaAs 和 InP

?高速加工SiC、SiO

? 蝕刻難蝕刻材料,如鐵電體(PZT、BST、SBT、BT)和電極材料(Pt、Au、Ru、Al)

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