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產品詳情
簡單介紹：
AMAYA天谷制作所MOCVD 氣相沉積設備; Doctor-TTM
? 8 英寸晶圓兼容
? 可
沉積金屬氧化膜、金屬氮化膜等 ? 采用
磚利無氯氣化器 ? 擁有
4 種 MO 材料線 ? 單室/雙腔室
可選
詳情介紹：
概述
配備獲得磚利的無氯氣化器，可形成各種有機金屬化合物。
● 4種MO原料分別通過流量控制同時氣化 ， 因此成分比控制簡單 。
薄膜厚度均勻性和嵌入性可進行良好的沉積。
應用和實際示例
金屬氧化膜： SBT/PZT/STO/BLT/BaTiO3/HfAlxOy/PGO/RuOx/IrOx/SRO/VO2/IGZO/BiOx 等
·金屬氮化膜：TaN/TiN/Ta3N5/Nb3N5/AlN 等
·金屬（化合物）膜：BiT/GST/SBTNb/Ti/Ta/Ru/Ir/B等
特點
? 使用無氯氣化器連續沉積
，易于膜組成控制
，薄膜厚度均勻性好，植入性好
氣相沉積設備
規格
|
設備主體尺寸 （雙室） |
1800mm(D) x 3380mm(W) x 2200mm(H) | |||||||||||||||||
| 加熱機構 | 電阻加熱 | |||||||||||||||||
| 卸載 | 集群室，機器人CtoC輸送 | |||||||||||||||||
| 氣體噴嘴 | 圓形 | |||||||||||||||||
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