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產品中心
產品詳情
  • 產品名稱:HAMAMASTU濱松VUV-LED 光源單元 L12542

  • 產品型號:
  • 產品廠商:HAMAMASTU濱松
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簡單介紹:
塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司銷售HAMAMASTU濱松VUV-LED 光源單元 L12542
詳情介紹:

特點和用途

特點

  • 較大的輻照(中和)區域
  •  
  • 在真空中高效生成離子
  •  
  • 無需氣流
  •  
  • 無過沖(不產生相反極性的靜電荷)
  •  
  • 無粉塵和電磁噪聲排放
  •  
  • 使用壽命長

用途

  • 卸除靜電卡盤
  •  
  • 半導體制造設備(真空工藝)
  •  
  • LCD 制造設備
  •  
  • 有機 EL 制造設備
  •  
  • 硬盤制造設備
  •  
  • 薄膜制造設備

靜電電荷去除效果

中和時間與距離

 

 

 

中和時間與真空度

 

 

 

詳細參數

總評級

參數 說明/值 單位
光譜分布 115 至 400 nm
窗材 MgF2
冷卻方法 以風扇強制風冷
工作溫度范圍 +10 至 +40
儲存溫度范圍 0 至 +60
工作濕度范圍 低于 80%(無冷凝)
儲存濕度范圍 低于 85%(無冷凝)

推薦的操作條件和特性(25°C 時)

參數 說明/值 單位
預熱時間 25±5 s
光源保證使用壽命 2000 h
輸入電壓(交流) 100 V 至 240 V(100 V/200 V 自動切換),單相 50 Hz/60 Hz
功耗(*大值) 90 VA

①壽命終止是指 230 nm 處的光輸出下降至低于其初始值的 50% 的時間。請注意,光輸出衰減很大程度上取決于真空設備的環境。
* 更換光源時,請注明型號 L12565。

光譜分布

 

 

 

指向性(光分布)

 

 

 

外形尺寸圖(單位:mm)

光源(重量:約 530 g)

電源(重量:約 1.8 kg)

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