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產品名稱：總代HORIBA崛場半導體質量流量模塊D700MG
產品型號： D700MG
產品廠商：HORIBA堀場
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簡單介紹：

總代HORIBA崛場半導體質量流量模塊D700MG流量控制器高響應壓力非敏感質量流量器關鍵的半導體制造過程不斷要求**的氣體流量控制設備，以實現未來的**，以及**的存儲和邏輯設備的實驗室到工廠的過渡。HORIBA公司提出了新的基于壓力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型號，以支持客戶的挑戰。

詳情介紹：

總代HORIBA崛場半導體質量流量模塊D700MG 國內各區域銷售

總代HORIBA崛場半導體質量流量模塊D700MG
工具上氣體和全尺寸配置更改 *僅 EtherCAT
- 為流程優化提供靈活性
100 ms 響應速度和mfc到mfc的偏差控制
- 提供高生產力和更大的過程性能
小流量 MRMG 功能（Bin101 - Bin105）
- 為需要小流量的工藝提供靈活性
PFA 噴嘴具有更好的閥門關閉和耐腐蝕性能
- 穩定性性和較小的顆粒風險，減少停機時間和優化產量

狀態監控功能
- 為更智能的故障預測提供更多的內部數據

*1 流量精度可低至2 SCCM，因此實際氣體低于2 SCCM以下不保證精度。
*2 在25℃和≤ 1.0 × 10-3 Pa (A)條件下的保證值。
*3 設定時間為 MFC 輸出信號和 N2 氣體。其他細節定義遵循“SEMI標準 E17-1011章節 4.1.4”的設定時間。
*4 壓力擾動必須小于 20% 的壓力變化/秒和 ±70 kPa/秒（±10 PSI/秒）。
*5 EtherCAT® 是注冊商標和**技術，由德國 Beckhoff Automation GmbH 授權。

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